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Simulation Tool
晶圆拍摄路径模拟器
输入晶圆尺寸、相机视野参数和运动策略,实时生成 S 形扫描路径与视野图。
基础与视野
光学系统计算
预设记录
运动与策略
视觉演示
相机视野
起始点
Notch (定位缺口)
当前位置