晶圆分块拼接与缺陷检测工具

把带行列标号或顺序号的正方形分块图拼成整张晶圆图。支持少拍空位自适应识别与单通道智能缺陷检测。

Wafer Stitcher V4.0 (更新于：2026-05-27 08:30)

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文件名示例：wafer_R03_C07.tif、tile_R03C07.png、晶圆_行03_列07.tif；可只拍部分位置

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拼接与缺陷检测设置

定位方式顺序号列数序号起点空位背景检测模式缺陷阈值 (σ 倍数) 明场窗口 (px) 像元尺寸 (µm/px) 边缘内缩 (mm) 缺陷标记预览单块边长按文件名排序检查正方形自定义正则灰度下限百分位灰度上限百分位

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拼接预览

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结果信息

已导入分块0

可定位分块0

拼接网格-

单块尺寸-

整图尺寸-

未拍空位-

文件解析

文件	行	列	尺寸	类型	状态
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