SiC TDI 图像成像性能诊断仪表盘

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选型与优化结论

分析中...

    核心性能指标对比 (Camera A vs Camera B )

    无缺陷区域 1D 水平亮度剖面

    多维度信噪比 SNR 对比

    Camera A 均匀度校正 1D 剖面图

    Camera B 均匀度校正 1D 剖面图

    平场校正前/后局域信噪比对比

    核心评估物理指标表

    成像质量指标物理意义释义

    指标 计算方法与物理定义 应用说明与判定物理法则
    平均亮度 (Mean) 中心 ROI 像素灰度均值 Mean 反映相同曝光设定下的感光灵敏度;越亮越易发生饱和。
    平场 PRNU 估计 平场图像的 Std / Mean × 100% 反映芯片像素响应非均匀性及制造工艺质量。越低越好。
    全局空间 SNR(dB) 20 × log10(Mean / Std) 包含晶圆表面宏观静态物理纹理与镜头暗角,易受低频亮度渐变污染。
    局域高频 SNR(dB) 将 ROI 划分为 32x32 的子网格计算信噪比后取均值 已利用局域切片彻底**排除镜头暗角和光源照度不均的低频渐落干扰**,反映最真实的芯片表面微观感光品质。
    时序时间 SNR(dB) 同一位置多帧连续采图,对齐后计算像素在时间轴上的 Std 波动 **百分之百消除晶圆静态表面物理纹理和芯片 PRNU 的空间干扰**。代表相机纯粹的物理感光随机噪声极限。
    亮度不均匀性 (Max - Min) / Mean × 100% 表征图像从中心到边缘的宏观照度起伏范围,是评估平场算法拉平能力的直观参数。

    AOI 量产选型最终判定法则: 产线实际运行时,若算法处理平场校正后的图像,则最终相机选型结论必须以 **校正后图像缺陷 CNR**、**时序时间 SNR** 和 **算法检出稳定性** 为绝对判定条件。